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半导体工业空气弹簧隔振器平台控制系统
时间: 2023-05-24 14:12 浏览次数：
半导体工业空气弹簧隔振器平台控制系统,用于半导体工业空气弹簧隔振器平台,包括:至少三个高度阀,所述高度阀位于所述空气弹簧隔振平台下部充气的气路上,每个高度阀对应设置在一组空气弹簧上,所述高度阀对空气弹簧进行充气,用于控制对应位置隔振平台的高度;至少三个高度传感器,设置在所述空气弹簧隔振平台上,每个高度传感器对应其中一个高度阀设置,用于检测对应位置的高度数据;力传感器,用于检测空气弹簧的压力数据;模拟量输入模块,分别与所述压力传感器、高度传感器连接，用于获取对应的压力数据和高度数据,并发送给处理器;处理器,用于接收模拟量输入模块的模拟量数据,并转化成数字量数据,并输出给数字量输出模块;数字量输出模块，用于接收处理器的数字量数据,并控制高度阀充气管路上设置的电磁阀,进而实现对所述高度阀的控制。
处理器,用于接收模拟量输入模块的模拟量数据,并转化成数字量数据,并输出给数字量输出模块;数字量输出模块，用于接收处理器的数字量数据,并控制高度阀充气管路上设置的电磁阀,进而实现对所述高度阀的控制。优选地,当高度传感器感应到高度达到设定值,压力传感器在时间T内感应连续N次检测压力值,并且压力值变化小于xMPa,关闭全部电磁阀。其中所述时间T优选为0.1-10分钟;所述N至少为3;所述x优选为0.001。
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