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半导体工业气浮式隔振器结构力学
时间: 2023-05-30 13:58 浏览次数：
半导体工业气浮式隔振器具有测量、生产加工技术、材料与集成电路技术、电子器件技术、半导体工业气浮式隔振器的使用越来越普遍。例如，承载所有暴露组件的光刻技术可测量框架的振动降低。危及减振特性的一个标准是减振设备的共振频率和阻尼系数。在阻尼作用下，共同地震区的减振效果非常明显，而共同地震区以外的情况正好相反。因此，为了保证其他阻尼系统软件的阻尼特性，有必要根据实际情况设置系统软件阻尼。目前，典型的半导体工业气浮式隔振器采用固定节流阀填料和气体节流阀减振。本产品减振调整结构复杂，难以保证。此外，在多个阻尼调节杆的操作过程中，无法保证每组径向预埋孔的规格一致。
一种根据气缸调节气固两相流减振耦合效果的半导体工业气浮式弹簧减振器，其理论力学数字模型。弹簧减震器在外管内设有连接管，弹簧风道总成在内管上方两侧，外管通过上冲头的密封与空气弹簧风道的下部连接。内缸按固定位置与上环形后盖板和弹簧气室密封连接。进气口和排气口设置在外缸的外内壁上，一组环形布置的喷嘴设置在外缸的内侧，在外缸下方具有密封性。配置环形底板，液压杆通过环形后盖板装入内缸腔内，倾斜镀锌钢丝绳的顶端固定在环形后盖板上，倾斜镀锌钢丝绳的底端固定在头部下方。液压杆和倾斜镀锌钢丝绳构成单摆结构。固定负载板固定在液压杆上方。内缸底端装有钢弹簧。柔性门铰链的下部组装在活塞杆上方，柔性门铰链的顶部组装在液压杆下方。
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