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SSB380型步进投影光刻机气动隔振器的频率
时间: 2023-06-12 13:47 浏览次数：
对于许多仪器和科学研究实验，特别是一些涉及高精度位置检测和微力检测的仪器，地球脉动噪声和环境噪声一直是影响其性能和结果的主要因素，因此SSB380型步进投影光刻机气动隔振器隔振系统起着重要作用。扭转秤系统通常用于验证等效性原理或测量万有引力常数，地面振动噪声会对测量结果产生很大影响；在评估加速度计的基本噪声时，还需要隔离地面的振动噪声；引力波探测器的臂长约为4km迈克耳孙干涉仪组成，对环境噪声敏感，需要性能好的隔振系统提供理想的惯性参考点；在重力测量中，经典的自由落体重力仪和原子干涉重力仪都需要隔振系统。
地面振动噪声的来源和强度与时间、基础和周围环境密切相关，频率为0.5Hz上述噪声来源主要是周围环境的噪声，如建筑物、树木的晃动和人类活动。频率在0.05~0.5Hz噪声一般称为地球脉动噪声，主要来源是海浪撞击海岸时在地壳中产生的表面波和体波，0.06~0.09Hz噪声是冲击产生的基频，0.12~0.16Hz二次谐波的噪声幅值往往大于基频幅值。因此，为了有效隔离地球脉动噪声和周围环境振动噪声，橡胶缓冲气胎隔振系统的本征频率须至少为0.05Hz，一般浮动光学平台或传统隔振平台难以满足需求。
SSB380型步进投影光刻机气动隔振器实现超低频隔振的方法主要有两种。一是利用低频加速度计等传感器反馈控制超低本征频率，称为主动隔振；二是超低本征频率不采用反馈控制，称为被动隔振。两者都可以等效为弹簧振子系统。由于超低频水平隔振的弹簧不需要平衡振子的重力，因此水平隔振系统比垂直隔振系统更容易实现。
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崔经理