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Sputter下料顶板清洗机安装充气减震器LHF500/320-3

时间: 2024-11-27 10:06 浏览次数:
在半导体制造领域,Sputter(溅射镀膜机)下料顶板作为关键部件,其清洁度直接影响到镀膜质量和设备寿命。随着工艺要求的日益严格,Sputter下料顶板清洗机的重要性愈发凸显。然而,清洗过程中机器产生的振动不仅影响清洗效果,还可能对顶板造成微损伤,进而影响后续镀膜工艺的稳定性。因此,如何有效减少清洗机的振动成为亟待解决的问题。
 
针对这一挑战,专业工程师团队引入了充气减震器LHF500/320-3,专为Sputter下料顶板清洗机设计。该减震器采用先进的空气弹簧技术,通过调节内部气压,能够精准控制减震效果,有效隔离清洗机工作时的振动。LHF500/320-3不仅具备卓越的减振性能,还拥有良好的负载能力和稳定性,确保了清洗机在高速运转下仍能保持高精度和稳定性。
Sputter下料顶板清洗机安装充气减震器LHF500/320-3
安装充气减震器LHF500/320-3后,Sputter下料顶板清洗机的振动得到了显著抑制,清洗效果显著提升,顶板微损伤率大幅下降。同时,减震器的使用还延长了清洗机和顶板的使用寿命,降低了维护成本,为半导体制造企业带来了显著的经济效益。此外,该减震器易于安装和维护,进一步提升了设备的可靠性和可操作性,为半导体制造业的高质量发展提供了有力支持。

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